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全自動單晶硅生長爐
 

      自上世紀六十年代以來,硅單晶材料被廣泛應用于半導體領域,是現代電子信息技術中占比85%的基材,也是太陽能光伏硅電池的重要材料。直拉式單晶硅生長爐是硅單晶制備領域重要而高效的設備。

 

      差異化的產品,是后來者居上的法寶。我國研制國產單晶硅生長爐雖有40多年歷史,但是,在2007年之前,國內企業生產的單晶爐都為半自動控制,無法滿足半導體硅單晶生長的高性能需求。為此,國內IC行業只得從美國、德國等國家進口全自動單晶硅生長爐設備。但是,進口設備價格昂貴,售后服務不及時,運行成本高。 

 

       2011年,公司承擔國家科技重大02專項“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”之“300mm硅單晶直拉生長裝備的開發”課題,現已進入規模化生產銷售階段。 

 

      在公司首臺80A型全自動單晶爐實現多項國內首創技術的基礎上,公司后續又研制成功了國內首臺300kg投料量、可生長12英寸半導體級單晶硅棒、整機性能要求更高的130A大型單晶爐和100B重摻型半導體級單晶爐。其生長的硅單晶棒的等徑精度、均勻性、電阻率、體缺陷、無位錯等主要性能,可滿足大規模集成電路90~65nm線寬的高要求,遠遠領先于國內同行,達到國際同類產品的先進水平。

 

      晶盛機電研發團隊決心不走同行的老路,要自主研制高起點的差異化產品——國產全自動控制單晶硅生長爐。在調研國內外技術的基礎上,結合半導體硅單晶生長工藝,以研發單晶爐全自動控制系統為突破口,進行單晶爐整機研制。在有研硅股等半導體材料公司的支持下,歷經艱辛,終于在2007年4月,自主研制成功國內首臺全自動單晶硅生長爐。打破了高端單晶爐技術長期被國外壟斷的產業格局,填補了國內空白。


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